在工業(yè)自動化與精密制造領域,光柵對準技術是實現(xiàn)高精度加工與檢測的核心環(huán)節(jié)。德國安士能公司(Euchner)推出的AY-OS-LSR-156915光柵對準輔助設備,憑借其較好的光學性能與人性化設計,成為激光加工、半導體制造及科研實驗中精密工具。
一、產(chǎn)品核心技術與工作原理
AY-OS-LSR-156915基于莫爾條紋光學原理實現(xiàn)亞微米級位移測量。設備內(nèi)置標尺光柵與讀數(shù)頭,當兩者發(fā)生相對位移時,交叉光柵線紋產(chǎn)生明暗相間的干涉條紋。通過高精度光電傳感器捕捉條紋變化,系統(tǒng)可實時計算位移量,精度可達0.1μm。其雙光束冗余設計(2束光路)確保檢測可靠性,即使單束光路受阻,設備仍能正常工作。
設備支持透射式與反射式光柵自由切換,適應不同安裝場景。透射式光柵將光源與接收裝置分置兩側,適合開放空間;反射式光柵則集成光源與接收器,適用于緊湊型設備。此外,設備采用蝸輪蝸桿微調(diào)機構,傳動比達100:1,用戶轉動蝸桿100°即可實現(xiàn)光柵1°的精準調(diào)整,告別傳統(tǒng)手工校準的誤差困擾。
二、技術參數(shù)與性能優(yōu)勢
參數(shù)規(guī)格
光束數(shù)2束(冗余安全設計)
保護區(qū)域高度510 mm(覆蓋大面積檢測需求)
檢測范圍12 m(長距離安全監(jiān)測)
響應時間≤3 ms(快速響應障礙物)
工作電壓DC 24V ±20%(兼容工業(yè)電源)
電流400 mA(低功耗設計)
防護等級IP65/IP67(防塵防水,適應惡劣環(huán)境)
環(huán)境溫度-30°C 至 55°C(寬溫工作范圍)
安全標準符合EN ISO 13849-1,性能等級PL c,安全完整性等級SIL 1
接口M12接插頭(5針發(fā)送器/8針接收器,支持熱插拔)
性能亮點:
抗振動設計:金屬外殼與鋅合金齒輪箱組合,通過10g振動測試(10-500Hz),確保工業(yè)現(xiàn)場穩(wěn)定性。
溫度補償:內(nèi)置溫度傳感器,自動修正光柵熱膨脹誤差(-30°C至55°C范圍內(nèi)精度波動≤0.5μm)。
多軸聯(lián)動:支持X/Y/Z三軸同步調(diào)整,通過PLC控制器可編程設定運動軌跡,適配復雜光路系統(tǒng)。
三、應用場景與解決方案
工業(yè)自動化
激光加工:在激光切割、焊接中,設備可實時校準光束路徑,確保加工精度±0.01mm。
半導體制造:用于光刻機光路對準,減少芯片缺陷率至0.001%以下。
機器人安全防護:檢測人員或異物進入危險區(qū)域,響應時間≤30ms,遠低于行業(yè)平均水平(50ms)。
醫(yī)療設備
手術機器人:輔助顯微外科手術中光學器械的精準定位。
光學儀器校準:用于內(nèi)窺鏡、顯微鏡的光路調(diào)試,提升診斷準確性。
科研與測量
光譜分析:在光譜儀中校準光柵角度,分辨率提升至0.01nm。
干涉儀校準:配合ZEISS SPECTRUM三坐標測量機,實現(xiàn)納米級表面形貌檢測。
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